外形尺寸：L*W*H=4100*3620mm* 1800mm；

设备总重：10000kg；

配置：罗芬CO2激光器一套；

           MARK对位相机1套；

           真空平台1套；

           直线电机轴X,Y轴；

           滚珠丝杆调焦Z轴；

X轴：平台移动轴，有效行程1700mm。

Y轴：平台移动轴，有效行程2800mm。

Z轴：有效行程100m。

平台尺寸：2750*1650mm

产品规格：47“-110”